frequencyplane mask

中文翻译频面掩模片

同义词释义

1)frequency-plane mask,频面掩模片

2)Spectrum mask,频谱掩模

3)video masking,视频掩模

4)mask picture,掩模图片

5)reticle-wafer,掩模硅片

6)full wafer mask,整片掩模

To improve the alignment accuracy,an automatic alignment algorithm for 100 nm CD reticle-wafer was constructed.

为了改善对准精度,对100nm级线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴离轴混合对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中。

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